★XY偏向非线um(典型值)80umX80umX8.5um(最小值)鸢0.58 x~7 x光学变倍镜头,光学划分率可达3.45 um,可3 mm焦距微调样品尺寸:可检测12英寸晶圆而且向下兼容8、6、4英寸以及碎片样品,可自愿高低料(选配)全自愿探针密切系统,叙程35 mm,步进精度50 nm

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