2月13日，大年头四。素日人来人往的中国科学院空天新闻更始商酌院（以下简称“空天院”）中合村园区，后天专门太平。在万家团聚的新春佳节，邢艳荣一大早就来到测试室，忙起芯片加工劳动。
邢艳荣是空天院高精度压力传感器团队的试验师。这个春节假期，她和同事们都必须“泡”在测试室超净间里，加班加点完成压力传感器芯片坐褥职业。
“春节前夕，全部人们国中东部地域涌现大部分相联性雨雪冰冻天气，各地气象局部风险采购便携式自愿天色站、微智自动气候站等。我们们团队需要加班值守，以保证气象压力传感器芯片顺遂生产交付。”空天院探讨员、高精度压力传感器团队用心人王军波报告科技日报记者。
穿上皎皎服、戴上小心帽和胶皮手套，在风淋间“吹风”除尘后，记者跟从邢艳荣到达测试室压力传感器芯片生产超净间。
在这里，陪伴着百般高严紧仪器发出的嗡鸣声，邢艳荣和同事们发端在光刻机上作业。光刻是制作芯片的枢纽秩序，邢艳荣将硅晶圆放到机器的凹槽内，设置启动后就会遵从事先调度好的工艺参数实行光刻。
光刻的终究并不会第偶然间显现，要检验光刻的结果，尚有一个环节枢纽——显影。“这便是显影液，就像昔日洗照片相同。格子内中是眼睛能看到的彩纹，这个彩纹没有了，显影也就完结了。”邢艳荣边独霸边给记者批注。
邢艳荣是两个孩子的妈妈，大哥读初三，正值中考闭头期。将就春节加班，她没有任何埋怨。
“不仅是我们，全班人的同事们也很劳碌。比如，住在燕郊的同事傍晚都回不了家，缘由赶不上最晚的大巴，只能在办公室息息一下。”邢艳荣谈，“人人都想尽速杀青压力传感器芯片临盆干事，包管订单可以守时交付。”
从晶圆到最后的芯片成片，要通过清洗、光刻、显影、刻蚀等多个纪律。邢艳荣和同事们一个星期要加工8—10片晶圆，一个月要临蓐近6000枚高精度压力传感器芯片。
压力传感器是一种可以衡量压力大小并将其转换成可测电信号的器件或装备。高精度压力传感器是航空航天、家产限制高端设备的核心器件。
“芯片是压力传感器的中心，芯片的加工水准是压力传感器高精度的紧要包管。压力传感器的精度必然了产业测控的精度，例如在气象周围，高精度压力传感器可以更为无误地预测气象的变化。”空天院接洽员、高精度压力传感器团队工夫认真人陈德勇叙。
畴昔，大家国的高精度压力传感器险些周到依靠进口。空天院高精度压力传感器团队用了数十年的年光，不单实行了中央部件的国产化，冲破了层层本事壁垒，还将压力传感器的精度抬高到了分外之一。
“这意味着，若是一架飞机在万米高空中翱翔，非常之一精度的压力传感器差错仅在1米以内。”王军波叙，极端之一精度的压力传感器是压力传感器皇冠上的明珠，是全部人国必须牢牢统制在本身手中的症结核心技艺。
“压力传感器本身是受温度浸染的，温度速速改变的时刻，传感器不确信能跟得上温度的变动。我们此刻做的传感器用了两个谐振器，这两个谐振器放的名望很近，对温度蜕变的反响是险些一概的。他们经过这种差分的步骤，能够大大减少温度随从欠缺。在这一点上，海外是没有的。”陈德勇对自己安顿的产品充足自夸。
作为团队技艺认真人，陈德勇一经在压力传感器范围联贯攻合近30年，先后研制出三大类破例服务机理的十余种传感器产品，并解决了掌管进程中映现的一系列工程化问题和批量化制作穷苦。
“放假这些天，全班人通常都在值班，源由临盆线不能停，要确保坐褥设置正常服务。全班人每天都来巡检，看看水、电、气是不是寻常劳动。”王军波感触，阵亡假期为满足国家需要而就事冷眼旁观。
“他们感觉国家须要，即是对全班人这些科研人员最大的招供。”王军波希望，他的产品可能更好地确保国家须要，从而为完毕高水平科技自立自强功勋自身的力气。
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