随着修立体积越来越小，精度越来越高，对拘束零件修设精度的仰求也就越来越高。源委勘测仪器可能维持更高的精度，从而可以建设知足这一须要。THK 的产品对缜密仪器的效力起到了至关紧张的功用，使其能够检测到极藐小的举止和蜕变。

　　大型 3 维勘测仪器的精确导向至合仓皇。由于探头尖端悬挂在间隔导向机构很远处，假使是轻微的转移也可以会熏陶勘测精度。这些仪器中左右高精度 LM 导轨来提供精度、滑润作为和刚性。

　　高精度加工本事界限对拘束加工精度的哀告越来越高。用于勘探这些渺小迟钝零件的小型勘测显微镜摆布 THK 的 LM 导轨作为其高疾和高本能自愿聚焦机构。别的，全班人们的滚珠导轨还用于对承载试件的做事台举办导向。在实行细微活跃的历程中，它们也许降低可使用性。

　　粒度查验器操纵传感器进行高速图像发挥。这些传感器必需以直线作为方式光滑地挪动。动摇和快度变动必需减小到最低水平。全部人的小型 LM 导轨可以处置这些难以制服的标题。