半导体工业是真空泵最大垄断范围，也是当前要紧的促进动力。ISVT数据出现，2019 年环球线 亿元，其中半导体用线%。ICInsights估计，到2025年环球半导体真空泵的设备与供职须要到达217亿元。

　　真空泵平庸独揽于半导体兴办的多个工艺措施，席卷半导体大硅片临盆步骤的单晶炉，在晶圆建筑程序的光刻机、刻蚀机、薄膜沉积征战、离子注入机等，以及在封测方法的模塑筑造范围等。

　　真空编制对半导体工艺方法品格陶染很大，直接相干到芯片的性能和良率。惟有在高品格的真空情景下，才能有效地限制加工和试验中的氧化、搅浑等题目，从而确保半导体器件的质地和实在性。

　　频年来，半导体财富对真空泵央求越来越高，必要将创造历程限制在更小的尺寸，要完成这一点，半导体工艺就务必在极度受控的真空情状下以更高精度和匀称性履行更多的半导体筑立经过步骤，以提拔产品品格和临盆成效，这就对真空泵的真空干净度和安详性提出更端庄的央求。

　　其余，由于半导体建造每条坐蓐线不同，工艺必要也破例，央求真空泵圆满高度的自愿化和智能化，不妨遵循工艺恳求自动调理真空度和泵速，提高坐蓐成果和清静性。

　　而守旧真空泵闲居是应用水或油进行真空阶段的密封或滑润，或者会爆发例外表率的稠浊和煦体劝化，无法舒服干净无油及耐腐化的恳求，在一定水平上会感化真空体例的原料。盛源推出的新一代无油真空泵，双倍高真空、无油低环保、低热高效，进一步优化半导体真空工艺，不只沦亡半导体工艺中的油混杂，而且运行资本低，于是备受客户青睐。

　　盛源无油真空泵采用高稹密高确凿真空泵头，含高邃密过滤器，深度过滤杂质，真空更洁净，二级线pa，同时抽气速、狠和稳，得意半导体各工艺步调对真空状况高品德、高太平性的端庄请求。

　　选用进口皮碗质量，气缸内壁优越打点，酿成自光滑，所以真空泵无需加油滑腻即可运行，不光环保，况且保障半导体筑设工艺的产品品德。

　　盛源无油自润滑光阴，让修造免于佐理，而且在长久运行真空度有所消沉的形象下，也仅需调动易损件，转换一下，至少不妨运行8000H以上。别的，重点配件选用进口品牌，包管产品寿命更长，颓唐客户控制资本。

　　半导体在真空泵的驾驭中，有害气体比较多，泵腔内温度过高，高温下易燃易爆及有毒气体就会方便发生迫害。盛源新一代无油真空泵接受纯铜电机，专业电机安放，满足24H连续运行，温低至50K，电本能效比高，极低发热量，防备伤害事故产生。

　　另外选取四级低转疾电机，四缸对称安排，动摇小，噪音低到60dB(A)，惬意半导体的杰出工艺请求。

　　在半导体制作界限，由于每条坐蓐线工况都不无别，客户须要定制化产品和处分铺排，盛源新一代无油环保真空泵修立微电脑真空表，可强壮颐养真空度，显着展现确凿参数，掌管容易敏捷，能满足破例半导体例外产线工艺必要。

　　盛源无油真空泵不单实用于半导体兴办界限，并且还平常驾御于呆板人主动化行业、包装机、调治行业、航天考查室、缜密仪器、电子印刷等范畴。盛源是国内最早从外洋引进无油真空泵并自决变革研发开发的企业，永久侧重产品质地和本能跳级，在无油线年的研发创造体认，具有专业化的研发考查室，掌握无油真空泵合节技巧专利，把“为客户有代价的产品”手脚谋划理念，依靠高原料高效果高寂静性的产品优势，已取得海内外500强企业的青睐。