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　　进入中高端创办阶段，细密和超严密衡量就成为弗成或缺的主题工夫，要思造得出，必先测得出，要想造得精，必先测得准。

　　“现代热力学之父”开尔文有一条着名结论：“唯有衡量出来，技能创造出来。” 稹密丈量材干的发达一直增进着财产创修的换代跳级。在今世科技和家产周围，高水准的周密衡量手腕和周到仪器创制技能，反映了一个国家科学研商和理想家产超过水平，更是进展高端缔造业的必备条件。随着严谨衡量才华接连发扬，其在科学研究、工程科技、当代物业、今世农业、治疗卫生和境况包庇等周围阐发着越来越告急的习染。

　　精密衡量是一个泛指的、大的界限。普通精准度很高的百般衡量，都可称之为稹密丈量。在周到和超周密工程周围，细腻丈量有详明的数量级概想：周详测量是指衡量准确度在1 μm~0. 1 μm 量级的丈量，超精密衡量是指丈量切确度优于100 nm，如10 nm、1 nm，甚至pm（千分之一纳米）量级的测量。

　　周详丈量振起于家当大坐蓐。领域化大生产是今世家产的急迫特质，家产分工与专业化配套越来越细化、越来越细密，地区传布越来越广、财富链遍布全天下。也便是谈，一个产品由成百上千以致成千上万个零部件组成，这些零部件不可能由一个厂家生产，须要遍布各地的良多个优势临蓐厂家互助杀青。比如一部智老手机，有1600 多个零件和元器件，由宣传在寰宇上11 个国家和区域的150 多家工厂提供。这带来一系列益处：大批量程序化分娩，分娩成绩高、质料高、本钱低。但手腕层面糊口一个大问题——把如斯多的零件、元器件集成到一起时，其中任何之一的尺寸精度或其全班人手腕指标不合格，就无法高精度、高成绩地把它们集成到一起，即便牵强集成到一起，产品质料也可能不合格。

　　为知谈决这类问题，国际圭表化结构（ISO）和国际计量局（BIPM）拟订了一系列圭臬与模范。凭借这些程序与模范，对产品的每一个零件和元器件的全部能力参数举行缜密衡量，以包管成千上万的团结种零件或元器件都具有互换性。凡是地说，就是用到哪一个零部件都是合格的。这必要一个前提为包管：发生在宇宙各地的千千万万次丈量都是精准精确的。怎样手腕担保正确准确？BIPM 用一个公认的圭表量值通报给每一台测量仪器，以包管这个程序量值在全宇宙领域内切确划一，进而包管集体的丈量仪器都是切确的，悉数的丈量数据都是精准的。从其时起，细密衡量已成为增长科技进步的危急新兴学科。

　　筑造成立业向中高端越过的主要是擢升创设质地，擢升创制质料的紧要，需先管理细密测量本领题目。惟有体验周到测量，手段大白产品那处不合格；惟有始末大量周到测量数据的积累，才华找到产品不合格的来源与规律；惟有基于稹密衡量数据创设起成体系的毛病补偿模型，手腕有效杀青创设精度和产品功效的精细调控，产品质量技巧在连续地仔细调控中渐渐晋升。

　　超精密光刻机被称为“超细腻尖端制造的珠穆朗玛峰”，唆使着人类超稹密制造的精度和功能极限。超精细光刻机是在超周详量级上把起首进的光机电控等几十个分体系、几万个零部件集成在一同，使其高性能共同任务，是人类筑筑创设史上繁杂程度最高，才力难度最大，综关精度效用最高的尖端作战之一。它在高速和高加快度下，告竣纳米级的同步精度、单机套刻精度和匹配套刻精度等，这与守旧的精度提升处境具体不同。同时，超稹密光刻机的创制精度已逼近现有创制伎俩的极限，其精度晋升一点点，平素都要支出几倍、十几倍的昂扬。比如，用于28 nm 节点制程的深紫外（DUV）光刻机据有7 万多个光机零件，涉及到上游5000 多家供应商。这些零部件对精度和稳定性的吁请极高，此中85% 的零部件集成了供应链上举座创造商的优势，才共同研发就手。

　　任何一个火急零件不合格城市导致超周详光刻机研制衰落。以其中一个构件——激光反射镜的创设精度为例。它由微晶玻璃制成，有108 项尺寸公差和62 项神志、位置、倾向公差，尚有里面应力等才华吁请。要达成这样一个纷乱构件的超稹密丈量，须要20 多种专用超缜密衡量仪器。而光刻机有7 万多个光机零件，个中80% 以上的零件处于周到和超细腻级，须要700 多种专用严谨和超稹密衡量仪器。如若没有成编制的专用超周详测量本事与仪器来管控制造精度，就不可以缔造出合格的零件，也不能够装配调试出合格的部件与分体系，更不可以装配调试出闭格的光刻机整机。从一类配置到具体筑修创设业，一个通俗的顺序是，只要创筑起遍布设置全创修链、全资产链和全生命周期的稹密和超细腻丈量满堂技术，就能对全体筑复创制业高质量运行形成有效的调控方法和稳固靠得住的支持手法。

　　缜密和超周到测量整体手段的擢升还可胀吹国家测量系统的成立。其中原家计量系统能够有效管控家当测量体系，保障全创立链、全家当链和全人命周期内的产品质地，赋能高科技物业高质量希望。当前国际上家产进展的国家，其产品都履历了从低质料向高质料的牵强的发达通过。正是原因创设起了具备的周详丈量体系，教化起了一批顶尖的超严谨仪器企业，本领为高端修立创筑供给强有力支撑，打造出诸多世界品牌。

　　泛泛创办强国和质地强国，都是仪器强国和衡量强国。寰宇前20 强仪器企业被美、日、德、瑞、英霸占，天地前5 名仪器企业的高端仪器商场占有率高出50%，全国前10 名仪器企业高端仪器市场占据率胜过75%，这些仪器强国同时都是衡量强国，都早还是构筑起了先进的国家测量系统。

　　为什么全部人国创立业从中低端向中高端超过时，际遇的可贵卓殊多，难度非常大？现在，我们国资产，希罕是创造业仍处于中低端，产品建立质量本原特地空虚。

　　从体制机制层面看，一是现行计量编制不齐备等问题导致量值通报才略瘦弱、大批传递链断裂，质料调控技艺在底层失控；二是现行计量处理体制固执，市集化水准低，不利于教诲供职型丈量业态，晦气于发达工业测量办事市集。

　　从伎俩层面看，一是尚未造成圆满的理想家产丈量才干；二是细密级丈量还没有变成团体伎俩，超严密级衡量才力还处于初级阶段；三是严重丈量技巧亟待突破，高端测量仪器仪表和中心零部件历久依靠国外。不管是摒挡模式，还是技术维持，都仍旧无法餍足经济社会各界限对切确测量测试的需求，深主意厘革势在必行。

　　新一代国家丈量体例能够分步启发：在国家计量编制层面，要编制布地步向工程参量的国家计量基表率筑立；在财富测量体例层面，能够先从少少紧张家产的严谨丈量和超周详测量做起，如航空唆使机产业、汽车家产、古板呈现器家当和半导体照明财富等，可兴办面向各类家产的物业家产衡量编制；对工业集聚合中的地区，如哈大齐财产走廊、辽中南缔造业集闭区、长三角创筑业聚集区、长三角制造业集中区等，可创造各具地域家产布景的区域财产丈量体系。在面向各行各业的财富衡量编制和遮挡国内各个树立业集关区的地域资产衡量系统的根基上，构筑具有计量量子化和量值传递扁平化特质的新一代国家丈量体例。只要如许，能力对我国全数高端修立酿成全面撑持才气。

　　2023 年2 月6 日党重心国务院印发了《质料强国设备提要》，提出了2025 年和2035 年进展偏向，为产业转型升级指明偏向。国家新型财富衡量体例是质地强国筑立的坚实来源，是全班人国家当，稀有是成立业从中低端向中高端逾越的焦点撑持，是晋升物业重心竞争力的首要。参加中高端创制阶段，周详和超缜密测量就成为不成或缺的中心方法，要想造得出，必先测得出，要想造得精，必先测得准。构筑国家新型财富测量系统是告竣财富高质地转机的一定取舍，也是补齐他国财富，寥落是高端树立缔造质地短板的必由之路。

　　谭久彬，1955年3月出生于哈尔滨，细密仪器工程大师，中国工程院院士。现任哈尔滨财产大学严密仪器工程钻研院院长、国家计量政策行家顾问委员会副主任，中国仪器仪表学会副理事长，华夏计量试验学会协助事长，国际丈量与仪器委员会（ICMI）常务委员等。历久从事超周密衡量与仪器工程的科研与人才教诲使命。面向高端创立树立质地擢升的分外需求，提出超细密仪器与创立精度调控才干及理论，如多模复关作为基准才具、多轴举措基准毛病分手能力和踊跃负刚度隔微振才具等系列革新手腕；打破超周详举止基准等系列核心材干，研制亨通4种国家级计量规范安装和21种大型超周密测量仪器与超大型超细密实验设立，创建了超周详仪器与扶植精度调控技巧体例与平台体例；处理了全班人国策略刀兵摆设、航空推动机、高性能卫星相机等36个庞大型号高端修理研制生产中的超严谨衡量与精度调控贫穷，昭着擢升了巨大型号成立的精度程度。筑成国内第一个超周详仪器研发基地和家产化基地。手脚第一告竣人，获国家才智发明奖一等奖1项（2006年），二等奖2项（2013、2016年）。

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