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“高疾超缜密激光干涉仪”受关注
时间:2023-02-14 17:31 点击次数:107

  据哈尔滨物业大学音信网,仪器学院胡鹏程训诲团队研制的“高快超严密激光干涉仪”荣获首届“金燧奖”华夏光电仪器品牌榜金奖。

  据介绍,该团队一心于高快超稹密激光干扰仪研发,以措置制约他国高端兴办繁华和量子化计量基准等前沿想考的“卡脖子”标题。团队突破系列宗旨勘测方式和工程化关节技艺,措置了该周围生计的测中止、测不精、测不快的宗旨艰难,共获授权兴办专利113项(其中原际专利6项),制订合连准绳2项,出版学术著作2部。在此基础底细上,团队研制了HUE-D/S/X系列高速超紧密激光干与仪并举行小批量坐褥,经3位院士等在行占定,仪器全部技巧来到国际前辈水准,3项关键时期处于国际进步。

  A股公司中,炬光科技(行情688167,诊股)为半导体光刻应用领域供给光刻机曝光体系中的要旨激光光学元器件光场匀化器。赛微电子(行情300456,诊股)为ASML提供透镜系统MEMS部件的工艺开采与晶圆兴办效劳,该厂商今朝为公司MEMS交往的前十大客户。

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