集微网新闻，本周，新昇半导体新增部署招标9台，上海积塔新增设备招标4台，西安奕斯伟新增陈设招标1台；睿励科学仪器新增中标配置3台，尚积半导体新增中标部署2台，逸典科技新增中标部署2台，ASE新增中标布置6台，东京细密新增中标铺排3台，Optima新增中标设备2台。

　　本周招标16台配置，个中，薄膜沉积1台，工艺检测2台，CMP 6台，冲洗配置1台，涂胶显影1台，其我们们安排5台。

　　本周中标98台配置，个中，刻蚀铺排1台，薄膜沉积7台，工艺检测8台、CMP 12台、洗濯布置7台，其我陈设63台。

　　限期，杭州富芯12英寸仿效集成电路芯片坐蓐线项目（一期）圆满落成规划确认条款；北方华创在投资者互动平台流露，公司多种新布置已实今朝28纳米产线的利用；盛美上海在领受机构调研时吐露，今年会推出多种膜的PECVD，在客户端举办验证；华海清科在给与机构调研时揭发，公司减薄产品揣测2023年会有小批量出货，湿法安排已使用于公司晶圆复生生产；芯源微临港研发及产业化项目主体结构封顶；北京烁科中科信发布音书称，开年新签整机累计达11台，公约总额争执2亿元。