首届“殷勤测量与先辈修树”核心蚁集探讨会特邀中科院微电子所周维虎主任、清华大学张书练师长、哈尔滨资产大学胡鹏程教授、中国计量院崔建军副咨询员分享大旨讲述。

　　“中国成立 2025”发展战略对高端建设成立业的质量提出了更高条款。超详细衡量对提拔高端设备制造质料具有根蒂保卫效率，并在树立全过程中的质量限定阐明定夺性效用；惟有收拾整个衡量能力题目，智力从根基上治理高端设置树立质地题目。

　　激光因其高主见性、高单色性、高相闭性等特征，具有高的确度、非交锋、清闲性好等独特甜头，在超周全加工和衡量边界应用遍及。今朝，越来越多的激光全面衡量格式已行动产品检测的关键步骤融入高端建设设立坐蓐线，并已成为大型设置成立业中质地保证的严沉魔术，包罗激光干预仪、激光跟踪仪等。

　　激光干涉仪以光波为载体，运用激光行为长度基准，是迄今公认的高精度、高聪明度的丈量仪器，广大使用于质料几多特征表征、精密传感器标定、周详步履尝试与高端建造集成等场合；格外是基于激光外差过问技巧的超周至位移丈量体制同时齐备亚纳米级分散率、纳米级精度、米级量程和数米每秒的衡量快度等益处，是如今唯一能顺心光刻机前提的位移测量方式。

　　激光跟踪仪是一种大尺寸空间几何量周到丈量仪器，具有衡量效果多（三维坐标、尺寸、模样、身分、模样、动静动作参数等）、丈量精度高、测量速度快、量程大、可现场测量等性子，是大型高端摆设创设的主旨检测仪器。激光跟踪仪基于球坐标测量系举行丈量，紧要用于大尺寸坐标测量以及大型构件尺寸及形位短处衡量，亦可对举措部件进举动态跟踪衡量。

　　周维虎探索员永远从事周到光电丈量技巧与仪器商酌，主办科技部巨大仪器专项、国家重心研发安插、自然基金庞大仪器专项、国防科工局浸点预研、装备希望部军用测验仪器、中科院仪器修造项目等50余项殷勤测量与仪器类课题，取得华夏呆滞家当科学技能发明特等奖、中原计量试验学会才具发现一等奖等7项省部级嘉勉，发布论文近200篇，申请专利近50项，编写道义1部，起草国家计量检定规程和圭臬4部，获得国务院异常补助、中科院朱李月华优异教练奖、江苏省双创领武夫才、青岛市改进领军人才等称谓。得胜研发国际上首台飞秒激光跟踪仪、国内首台三自由度激光跟踪仪和六自由度激光跟踪仪，冲破了国外在激光跟踪衡量范畴的能力把握。承担中国科学院大学岗位教师、博士生导师，北京航空航天大学、华中科技大学、大连理工大学、吉林大学、关肥产业大学等十余所高校兼职先生和博士生导师，南京航空航天大学特聘教授，湖北产业大学楚天学者老师。担当《计测伎俩》、《测控材干》、《中国测试》和《光电子》期刊编委，《Optical Engineering》、《华夏航空学报（中、英文）》等十余份国内外期刊审稿人。申报纲目：

　　激光跟踪仪用于超大尺寸空间多少量测量，具有衡量快度速、精度高、边界大，可现场丈量等特征。在航空航天、船舶、雷达、高铁、能源设备、汽车、大科学装置等大型配置缔造界限具有广泛行使，本讲演重点介绍激光跟踪仪研发才华及合系边界中运用。

　　张书练，清华大学教员，博士生导师。激光和殷勤衡量行家，偏振正交激光器纳米衡量才具的国内创筑人和国际浸要创修人。曾任清华大学严密实验技术及仪器国家重点测验室主任，现任广东省计量院要点实验室学术委员会主任。举动第一终止人，获国家手法发现二等奖两项，作育部自然科学一等奖两项，电子学会发觉一等奖一项等十余次奖项。在ISMTII-2017国际学术聚关上被授终生进贡奖。出版专著：唯一作者3部，第一作者1部，主编国际咸集专题文集2部，计测本领“师长论细密测量”一期，发表论文360余篇，发明专利权80余项。创造的双折射-双频激光器及过问仪等纳米丈量仪器也曾批产。

　　胡鹏程，哈工大长聘先生、博导，周到仪器工程斟酌院副院长，2019年被选国家高宗旨青年人才安插。校内兼职：第二届校学术委员会，委员；超周至仪器才力及智能化工信部重点考试室，副主任；超周全光电仪器工程考虑所，常务副好处。校外兼职：中原计量测试学会，第八届计量仪器专业委员会，副主任委员；IEEE Senior Member；中原电子学会、华夏光学工程学会，高档会员；华夏仪器风采学会传感器分会，理事；提拔部学位与探索生培植发展主旨，中原高校立异创业培育研讨重心，评审巨匠；《光学周至工程》编委，《哈尔滨财产大学学报》青年编委，《红外与激光工程》青年编委；国家重点研发布置引力波探测重点项目，咨询巨匠组，成员；ISPEMI 2018, Secretary General；IFMI&ISPEMI 2020，Cochair of organizing committee，IFMI&ISPEMI 2022，Cochair of organizing committee 学术咨询：环绕超细密激光测量与光电仪器办法，从事根底查究、枢纽技术冲突和仪器研制实验。掌管国家科技强大专项课题、才干根柢项目、国家伟大工程项目、国家自然科学基金国际联合研讨项目、国家自然科学基金宏伟考虑计划课题、国家自然科学基金面上项目等，项目经费1.2亿余元；公告SCI检索论文60篇，出版编著1部，申请/授权国内外创造专利152项。 科研劳绩嘉勉：中原计量试验学会科学手腕发扬奖，一等奖(第1收场人，根柢类，2021年)；国家才华创造奖，二等奖（第5了局人，2013年）等。报告摘要：

　　甚多轴高速超殷勤激光过问衡量才力与仪器是高端筑设进步与前沿咨询的巨大焦点根蒂才气，动作光刻机等高端筑设中不行代替的焦点单元，其直接酌定了摆设所能到达的极限手脚精度与整体性能；行为溯源精度最高的长度计量试验仪器，其凿凿兼并天下关系量值，支柱国际单位制量子化改革等前沿筹议。随着高端筑造起色与前沿筹议的迅猛起色，其甚多轴、高疾、超周到衡量必要越加分明，使激光干预衡量手法开展不竭面临新的挑战。为此，希望了甚多轴高速超严密激光干预测量技能考虑，突破了激光稳频、多轴过问镜组、干预信号解决等多项要道本事，研制成功系列超殷勤激光干涉丈量仪器，丈量速度优于5m/s，动态衡量不同力0.077nm，光学非线nm，并在微电子光刻机、国家基准装配、德国PTB超测量设备等得胜利用，为全部人国高端筑设开展与前沿咨议奠定重大共性才略基础。

　　崔建军副琢磨员恒久从事周密几许量测量身手及计量圭表酌量，主持和投入科技部巨大仪器专项、国家重点研发摆设、国家及北京市自然科学基金项目、国家市场监禁总局项目等30余项精密测量与几何量计量探索项目，获得浙江省科学才力转机二等奖、国家质检总局科技兴检二等奖、华夏计量尝试学会科学材干希望三等奖等多项省部级嘉勉，颁布论文近40余篇，申请专利近30项，软件著作权20余项，正在负责及投入起草的国家计量检定规程准则10余项。主理设置新一代双频激光过问仪计量轨范装置、激光测微仪、光栅式测微仪校准安装、纳米薄膜厚度计量标准安装等多项国家量值最高的计量标准装置。提出了双频差分法布里珀罗激光过问才具道理，研制了凿凿度抵达数十皮米的微位移及过问仪非线性计量装置。承受继承寰宇半导体器件、全国光学和光子学光纤传感、天下检验机等3个圭表化技巧委员会委员，经受华夏机器人检测认证联盟手段委员会分劳动巨匠组专家，国家计量法式的优等考评员和一级登记计量师，中国计量科学商酌院探讨生导师，南方科技大学、河南理工大学等多所高校兼职磋议生导师，担负《计量学报》、《计量科学与才力》、《中原计量》、《华夏激光》，《光学学报》、《sensor review》《measurement》、等十余份国内外期刊审稿人。陈述提纲：

　　微位移丈量是高端设置主旨零部件策画和先进建立急需的使用根基手段，也是几何量计量、微纳树立和光刻技术等发达所急需的合键才智。陈说针对当前急需的纳米及亚纳米精度的激光干涉仪、亚纳米电容测微仪和纳米位移传感器等难以计量的现状，发明性提出选拔固定频差双频激光创设差分珐珀干涉系统的光学理论，并磋商基于该理论构建精度到达数十皮米以致更高量级的位移测量手段实现手段，研制达成皮米级分别力的高精度位移测量装置，激励国家周详丈量、先辈创立等范围的高质量进步，也为创制皮米级国家最高微位移计量圭臬装置供应才力要领。

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