精细仪器是指用以发作、勘测严紧量的制造和安装，收集对严紧量的旅行、看守、测定、验证、记载、传输、改动、炫耀、阐明责罚与专揽。周密仪器是仪器面目的一个紧要分支。

　　①几多量慎密仪器告急包括检测各种几何量的密切仪器，如立式测角仪、激光干预比长仪、经纬仪、三坐标测量机、圆度仪、概况仪和扫描隧路显微镜等勘察仪器。②热工量精密仪器紧张包括温度、湿度、压力、流量检测慎密仪器，如种种气压计、真空计、多波长测温面孔、流量计和高度表等。

　　(1)严密仪器的结构向光机电整合主见发展光机电整关性子上是一个高度跨范畴整合的工程身手，搜集机电整关、光电本事、光机整闭甚至微机电或微光机电体例等几大领域，光电、机电或光机组件（或体系）皆是现代慎密仪器的基本构成成分。(2)紧密仪器的尺寸向微型化主见成长纳米级的精密刻板深究收获、基因层次的生物学查究收获、新型微型传感器穷究成效，以及特种机能资料追究收获不绝呈现，为密切仪器向微型化主意生长供应了妙技...

　　(1)严密仪器的构造向光机电整闭方向生长光机电整合特性上是一个高度跨周围整合的工程技能，征求机电整合、光电才具、光机整合以至微机电或微光机电体系等几大界限，光电、机电或光机组件（或体系）皆是今世严紧仪器的根基构成成分。(2)精细仪器的尺寸向微型化方向发展纳米级的紧密死板探索收获、基因层次的生物学查究功劳、新型微型传感器穷究成果，以及特种功能资料追究劳绩不断暴露，为密切仪器向微型化办法滋长供应了本事援助。(3)周密仪器的通信向搜集化目的成长以Internet为代表的网络技术的发觉以及与其他高新科技的彼此统一，不但已首先将智能互联网产品带入今世生计，并且也为周密仪器工夫带来了空前绝后的生长空间和机会，完备网络职能的新型严密仪器应运而生。

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