日从松山湖材料实习室获悉，松山湖材料操练室精密仪器研发团队告成自研台阶仪，完毕了国产化台阶仪零的突破，加快国产替代。

　　据悉，台阶仪，一名探针式外观具体仪，用于样品表面从微米到纳米尺度的详细测量，是微电子、半导体、太阳能、高亮度LED、触摸屏、调养、科学查究和原料科学等鸿沟不成缺乏的枢纽勘探开发。永久从此，此类仪器被美国Bruker、美国KLA、日本Kosaka三家厂商掌握，国内尚无厂商可供应同类产品。

　　“台阶仪的研发，需要‘四个超’：超详尽的举动职掌，超周到位移传感，超低噪声暗记搜求，超高平坦度零部件等合头期间。”团队左右人许智指出，松山湖资料实验室紧密仪器研发团队在这些限度均有富饶的经历积攒和坚固的功夫储藏。况且，基于此前自主研发的系列化压电驱动纳米位移台产品和扫描探针显微镜制备时期，可能速速完成企图筹算，并起源效果样机、工程样机的迭代修造。

　　据悉，该项目2020年12月内中立项，2021年5月，考试样品，2022年4月，样机进产线月，正式机台参加运用。至此，国产化台阶仪迈出了里程碑式一步。“症结勘测仪器兴办告终国产化，最关头之处就在于达成了自立可控。现已交付的台阶仪可满足企业实际行使的指标要求，且比力同类进口开发，成本抬高了约30%

　　值得一提的是，项目组研制了三种分别测验需要的型号，可供客户遵循需要抉择反应装备，并配套自研软件实时暴露勘探图表数据。如今，团队正在与十余家有相干需要的企业、科研院所洽叙纠合中。

　　据悉，松山湖原料操练室稹密仪器研发团队以自助常识产权的岁月为中心，进步严谨科研仪器和家产自愿化筑设的家当更动。其研发的桌面式扫描电子显微镜、大行程纳米位移台等产品为国内唯一量产，等离子体化学气相沉积系统、扫描隧路显微镜编制等产品达到国际一流、国内跨越程度。

　　“周详仪器研发团队以国家策略为导向，以市集需求为目的，力图成为有掌握、有行为的尖端仪器财产化部队。”许智涌现。