科技日报北京6月4日电（记者马爱平）“针对光刻机等尖刻测量境况中告竣多自由度过问勘探的需求，所有人提出了基于棱镜弊端矢量理解的单体集成多轴干预仪组件联想方法，研发出从2轴到5轴的系列化单体式多轴干预仪组件，打破了海外企业的使用和对所有人国的出口拘束。”4日，清华大学长聘教授、精致仪器系学术委员会主任李岩奉告记者。

　　激光过问勘测是竣工超致密测控和微纳尺度勘察的最有效要领之一。在国家强壮科技专项“极大规模集成电途修筑开发及成套工艺”（02专项）等项目维持下，由李岩等已毕的“高测速多轴高离别率激光过问测量技巧与仪器”项目，冲破一系列合键技艺瓶颈，酿成了勘察新办法、编制及仪器。

　　李岩介绍，项目告竣了从干涉仪组件、信号探测解调到多自由度探测安顿想象的全链条自研开拓的高测速、多轴大量程、高区别率激光过问勘测系统。

　　甩手短暂，项目团队所研发的光刻机用双频激光干预仪系统，欺骗到我们国自研光刻机工件台样机研发历程中，累计应用50余台套，知足了光刻机双工件台样机的细密勘察须要，减轻了对外洋高端过问仪的寄托，低落了其产品对我国出口统制所造成的研发紧迫。

　　李岩谈，例如项目垦荒的亚纳米区别率可溯源外差干涉仪，愚弄到激光多维勘察体例咨议与开发的比对检定筹议中，寻得了激光多维测量体系非线性漏洞起源，并用特地的电途加以勘误，先进了合系单位激光多维勘察体例的性能，所提出的可溯源干涉测量新要领，为摩尔单位接纳阿伏伽德罗常数从新定义作出了成就。

　　“项主意成功，冲破了外国对你们国高端激光过问测量仪器的束缚和利用，为我们国高端摆设和仪器研发供应成效宁静且不受制于番邦的测量及溯源材干，充实了激光干预勘测理论与本事，具有额外火速的岁月、经济和社会恶果。”李岩谈。