记者6月16日从松山湖质料实践室获悉，松山湖资料实习室细腻仪器研发团队告成自研台阶仪，落成了国产化台阶仪零的突破，加速国产取代。

　　据悉，台阶仪，又名探针式形势外观仪，用于样品阵势从微米到纳米模范的皮相勘察，是微电子、半导体、太阳能、高亮度LED、触摸屏、调整、科学查究和质料科学等范围不行欠缺的要叙勘测兴办。长期以后，此类仪器被美国Bruker、美国KLA、日本Kosaka三家厂商控制，国内尚无厂商可提供同类产品。

　　“台阶仪的研发，须要‘四个超’：超仔细的运动控制，超仔细位移传感，超低噪声信号搜集，超高平整度零部件等要道本事。”团队承担人许智指出，松山湖原料操练室周密仪器研发团队在这些领域均有丰富的体会积蓄和坚固的技术储存。而且，基于此前自主研发的系列化压电驱动纳米位移台产品和扫描探针显微镜制备技能，不妨疾速罢了方案打算，并起初效劳样机、工程样机的迭代筑造。

　　据悉，该项目2020年12月内部立项，2021年5月，实验样品，2022年4月，样机进产线月，正式机台投入愚弄。至此，国产化台阶仪迈出了里程碑式一步。

　　“要叙勘测仪器修立完成国产化，最要说之处就在于收工了自助可控。现已交付的台阶仪可中意企业本质操纵的指标哀求，且比照同类进口兴办，成本下降了约30%。”许智泄露。

　　值得一提的是，项目组研制了三种例外尝试需要的型号，可供客户依据必要选择呼应陈设，并配套自研软件实时走漏勘探图表数据。此刻，团队正在与十余家有关系须要的企业、科研院所洽谈连结中。

　　据悉，松山湖资料演习室细巧仪器研发团队以自助学问产权的技艺为核心，起色细密科研仪器和家产自动化征战的工业改观。其研发的桌面式扫描电子显微镜、大行程纳米位移台等产品为国内唯一量产，等离子体化学气相浸积体例、扫描隧谈显微镜系统等产品达到国际一流、国内赶上秤谌。

　　“细巧仪器研发团队以国家策略为导向，以商场必要为宗旨，力求成为有掌管、有作为的尖端仪器财产化戎行。”许智涌现。